簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "李維楨".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氧化鋅"


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    雙階段濺鍍技術於氧化鋅焦電感測器響應之影響
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 張君偉 指導教授: 趙振綱
    • 焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜,及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…
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    雙階段濺鍍技術之氧化鋅薄膜殘留應力分析
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 林宛盈 指導教授: 趙振綱
    • 中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生,而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度,且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化,進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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